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Society5.0を支える半導体の製造プロセスにおける温室効果ガス排出抑制

(株)荏原製作所

半導体製造プロセスにおける排ガスの無害化

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荏原グループが2030年にありたい姿E-Vision2030のマテリアリティの一つ「持続可能な社会づくりへの貢献」の達成へのアプローチとして、半導体製造プロセスにおいて発生する温室効果ガス処理量の拡大に取り組んでいます。IoT、クラウド、AI、自動運転、5GなどSociety5.0に欠かせない技術を支える半導体は、その製造プロセスにおいて地球温暖化係数が極めて大きく、人体に有害で可燃性のあるガスを排出します。その排出抑制は半導体業界の共通課題です。荏原はガスの分解、無毒化、安全な処理、無臭化に優れた排ガス処理装置を提供し、Society5.0が実現する社会の礎である半導体工場の作業者や周辺地域の安全と環境対策までを含む持続可能な社会づくりを目指しています。

Related Goals/Targets

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​Status

提供済み

​Start

2019年11月

​Relation to Society 5.0

​​IoT,
Robot

Big data

AI

Open
Innovation

Others

Society5.0の技術に欠かせない半導体製造プロセスの環境負荷低減

​Partners

​Countries/Regions

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西ヨーロッパ

Goal/KPI

2030年にCO2約1億トン相当の温室効果ガスを削減する。

​Qualitative Evaluation

半導体製造プロセスで発生するガスを無害化することによって、GHG排出の削減に貢献

​Quantitative Evaluation

排ガス処理装置使用による温室効果ガス排出の削減
2022目標:100%
2020実績: 40%

​URL(Detail)

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